A Digital-to-Analog Converter of Displacement by an Integrated Micromechanism
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-05-15
著者
-
Fujita H
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Endo J
Advanced Research Laboratory Hitachi Ltd
-
Endo Junji
Institute Of Industrial Science University Of Tokyo:core Research For Evolutional Science And Techno
-
Mita M
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Mita Makoto
Institute Of Space And Astronautical Science (isas)
-
Mita Makoto
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
TOSHIYOSHI Hiroshi
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
FUJITA Hiroyuki
Institute of Industrial Science, The University of Tokyo
-
KOBAYASHI Dai
Institute of Industrial Science, University of Tokyo
-
HASHIGUCHI Gen
Institute of Industrial Science, University of Tokyo
-
WADA Yasuo
Institute of Industrial Science, University of Tokyo
-
HASHIGUCHI Gen
Faculty of Engineering, Kagawa University
-
Endo Junji
Advanced Research Laboratory Hitachi Ltd
-
Toshiyoshi Hiroshi
Iis. Univ. Of Tokyo
-
Toshiyoshi Hiroshi
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Toshiyoshi Hiroshi
3rd Department Institute Of Industrial Science University Of Tokyo
-
Mita M
Iis. Univ. Of Tokyo & Crest/jst
-
Wada Y
Institute Of Industrial Science University Of Tokyo:core Research For Evolutional Science And Techno
-
Kobayashi Dai
Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo
-
Hashiguchi G
Faculty Of Engineering Kagawa University
-
Fujita Hiroyuki
Institude Of Industrial Science The University Of Tokyo Fujita Lab.
-
Toshiyoshi Hiroshi
Inst. Of Industrial Sci. The Univ. Of Tokyo
-
Wada Yasuo
Central Research Laboratory Hitach Ltd.
-
Wada Yasuo
Institute for Chemical Research, Kyoto University
関連論文
- 3D1-S2 身近な家電・情報機器による電磁波体験型創造性育成教材(展示セッション,日本科学教育学会 第30回年会論文集)
- Self-Controlled Short Pulse Generator from All-Fiber Coupled Fabry-Perot Cavity(Lasers, Quantum Electronics)
- 2.Ne-Xe混合ガスを用いた高周波無電極光源における発光輝度の観測((1)光源・回路・放電現象(I) : 電球・蛍光ランプ関係)
- 無電極光源プラズマにおける発光輝度に及ぼす電子密度の影響
- シャンティングアーク放電プラズマの構造解析
- 二周波プラズマスパッタリングによる窒化アルミニウム薄膜の高速合成 : アルミニウム薄膜高速化
- 24aB15P 酸素プラズマスパッタ法による酸化ジルコニウム薄膜合成に及ぼすターゲット状態の影響(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 27aZA-8 電子レンジを用いた科学創造性育成のための教材開発(27aZA 物理教育,領域13(物理教育,物理学史,環境物理))
- リング状ホロー溝電極を用いた高密度容量結合型プラズマの生成
- リング状ホロー電極を用いた容量結合型プラズマの高密度化
- リング状溝電極を用いた高密度高周波プラズマ生成とその空間構造
- 2008リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!"-光・音・かぜ…-
- 誘電体バリヤ放電に及ぼすXe/Neガス混合比の影響
- C_2H_2F_2を用いたプラズマCVD法による撥水性薄膜合成とその密着性の検討
- 高周波スパッタ中の炭素微粒子発生と成長過程
- 2007リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!"-エネルギーをつくる、エネルギーをつかう-
- PCS法により作製したZnO-TiO_2-CoO-Al_2O_3系熱電材料の抵抗温度特性
- プロセス用高周波・マイクロ波プラズマ源の開発とその応用
- PCS法により作製したZnO-TiO_2-CoO-Al_2O_3セラミックスの熱電特性と微細構造
- 2006リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告 : "キミは未来の科学者だ!" -通信の科学-
- パルス電流焼結法を用いた酸化亜鉛系セラミックスの焼結に対する試料内部電流の影響
- 家電・情報機器による創造性育成教材 : 電子レンジのふしぎ
- 27aUC-12 紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成(27aUC プラズマ基礎(強結合系),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 2005年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告キミは未来の科学者だ! : サイエンスマジック
- 29pA04P ECRマイクロ波スパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布の計測(プラズマ基礎・応用)
- 間欠ジルコニウムアークPBII&D法によるジルコニア皮膜
- 24aB14P C_2H_2F_2ガスを用いた高周波プラズマCVDによる超撥水性薄膜合成とその密着性向上(プラズマ応用、慣性核融合, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- Profile structure of magnetic flux lines in type-II superconductor from a rectangular electron hologram
- Time-resolved observation in transmission electron microscopy by means of spatially resolved electron correlation spectroscopy
- Observation of a 0.055 nm Spacing Lattice Image in Gold using a Field Emission Electron Microscope
- Observation of Atomic Steps by Reflection Electron Holography : Techniques, Instrumentations and Measurement
- Interference Electron Microscopy by Means of Holography
- Spherical-Aberration Correction of an Electron Lens by Holography
- High Resolution Electron Holography with Field Emission Electron Microscope
- Degradation of Dithiocarbamate Fungicide Polycarbamate in Upland Soils
- Fabrication of Micromechanical Tunneling Probes and Actuators on a Silicon Chip
- A Digital-to-Analog Converter of Displacement by an Integrated Micromechanism
- Room Temperature Coulomb Blockade and Low Temperature Hopping Transport in a Multiple-Dot-Channel Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor ( Quantum Dot Structures)
- Fabrication of Si Nanostructures for Single Electron Device Applications by Anisotropic Etching
- Electromechanical Analysis of a Micromachined Comb-Drive Actuator by Admittance Measurement
- A Silicon Shadow Mask with Unlimited Patterns and a Mechanical Alignment Structure by Al-Delay Masking Process (特集:立体的微細加工)
- Fabrication of an Inverted Scratch-Drive-Actuator for a Pwerful and Precise Conveyance System
- Self-Starting Pulse Generation from Cooled Erbium-Doped Fiber Ring Laser(Lasers, Quantum Electronics)
- 誘導結合型プラズマスパッタリングを用いた銅微粒子合成
- Electron-beam-pumped Light Sources Using Graphite Nanoneedle Field Emitters and Si Electron-transparent Films
- Dependence of the Light Emission Characteristics on the Ne Gas Pressure in an Electron-beam-pumped Light Source Using a Field Emitter
- 印加電圧の瞬時停止を利用したAFM陽極酸化によるSiナノギャップの作製方法
- Electrical Conductivity of Lambda DNA-Pd Wire
- Atomic Force Microscope Cantilever Array for Parallel Lithography of Quantum Devices
- Influence of Substrate Biasing on (Ba, Sr)TiO_3 Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Sputtering
- 間欠ジルコニウムアークプラズマを用いたイオン注入・堆積法によるジルコニア皮膜特性のAr/O_2流量およびアーク電流依存性
- Impact Microactuator Driven by Electrostatic Force
- Fabrication of Silicon-Based Filiform-Necked Nanometric Oscillators
- Dry-Released Nickel Micromotors with Low-Friction Bearing Structure
- アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響
- A Method to Measure Beam Deflections in Different Resonance Modes Piezoresistively and its Incorporation into 2D Optical Microscanners
- Magnetostrictive Microactuators and Application to Two-Dimensional Optical Scanners
- Electroplated and Dry-Released Metallic Microstructures for a Lateral Tunneling Unit Application
- Contact resistance modeling of MEMS scanner for CMOS-MEMS simultaneous simulation (集積回路)
- 26aB05P 容量結合型放電における高密度プラズマ生成に与える酸化物電極の影響(プラズマ基礎・応用)
- 20pA11P MgO電極を用いた狭ギャップ容量結合型放電の高密度化(プラズマ基礎・応用)
- ICPを用いた多段マイクロ構造作製
- A Piezoelectric Quartz Microactuator for a Large Pseudo-Static Displacement
- Vapor Hydrofluoric Acid Sacrificial Release Technique for Micro Electro Mechanical Systems Using Labware
- FEM Analysis of Mechanical Characteristics of Nano Tweezers with MemsOne^
- A Silicon Based Nanometric Oscillator for Scanning Force Microcopy Operating in the 100 MHz Range
- Fabrication of Array of Hollow Microcapillaries Used for Injection of Genetic Materials into Animal/Plant Cells
- SILICON MICRO MOTHERBOARDS FOR THREE - DIMENSIONAL ASSEMBLING OF MICRO SYSTEMS
- Photoresist-Assisted Release of Movable Microstructures
- Low Cross Talk Design and Simple Fabrication Process of Electrostatic Vertical Comb-drive Actuators for Positioning Application
- Monolithic Fabrication and Electrical Characteristics of Polycrystalline Silicon Field Emitters and Thin Film Transistor
- Fabrication and Emission Characteristics of Polycrystalline Silicon Field Emitters
- Mono-Material Multilayer Interference Optical Filter with Sub-Wavelength Structure for Infrared and Terahertz Optics
- A Built-in Vibration Sensor Using Arc-Discharged Reactive Ion Plated PZT
- 26pXG-9 リングアンテナによる高周波放電プラズマ中で捕捉された微粒子雲に対する紫外線照射の影響(プラズマ基礎(ダスト・応用・その他),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 25pB04 酸素誘導結合型プラズマによる酸化ジルコニウム薄膜合成(プラズマ基礎・応用I)
- 誘導結合型プラズマスパッタリングによる酸化ジルコニウム薄膜合成
- Study of Micro-Miniature JT Cooler
- 25pA19P 紫外線照射によって非等方的な強結合状態を持つ微粒子プラズマの生成(プラズマ基礎, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 大気圧バリア放電を用いたメタン・水蒸気混合ガスの改質
- 低周波大気圧放電プラズマを利用した炭化水素ガスの分解処理実験
- 2004年度リフレッシュ理科教室(九州支部佐賀会場)開催報告
- 29pWH-11 内部リングアンテナを用いたRFプラズマ中での帯電微粒子群の空間的挙動(プラズマ基礎・科学(非中性・ダスト))(領域2)
- 佐賀でのリフレッシュ理科教室
- 27aC05P 反射イオンビームの2次元速度空間での拡がり(プラズマ基礎・応用)
- Multiphysics Analysis for Micro Electromechanical Systems Based on Electrical Circuit Simulator
- Micro Mechanical Acoustic Sensor toward Artificial Basilar Membrane Modeling
- Optical MEMS(Special Issue on Current Electromechanical Devices and Their Materials with Recent Innovations)
- リフレッシュ理科教室 (九州支部佐賀会場) 開催報告
- Observation of an Inductively Coupled RF Discharge with One-Turn Internal Antenna
- 佐賀会場でのリフレッシュ理科教室
- Annular Profile of Dust Density near RF-Powered Electrode in a Capacitively Coupled Plasma
- 誘導結合型高周波プラズマにおける電子2次元速度分布関数
- 反射イオンビームの2次元速度空間構造
- An Equivalent Circuit Model for Vertical Comb Drive MEMS Optical Scanner Controlled by Pulse Width Modulation
- Microelectromechanical XNOR and XOR logic devices
- Feasibility Study for Designing a Parylene Actuator for Nano-positioning
- Design of a Nano-Displacement No-Wiring Solid Actuator
- Fabrication of Micromechanical Tunneling Probes and Actuators on a Silicon Chip
- A micromachined voltage controlled oscillator using the pull-in mechanism of electrostatic actuation