Nanotweezers with Proximity Sensing and Gripping Force Control System
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概要
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Nanoscale electromechanical systems — nanotweezers with highly intelligent functions — based on an electrostatic comb drive actuator have been developed for the manipulation and interrogation of nanostructures. These nanotweezers can detect contact with the substrate or sample during approaching or gripping operation by monitoring the resonance state change of the comb drive. A contact position reproducibility of 10 nm is obtained, which prevents the crushing of the probe against the substrate and increases the reliability of sample gripping. The manipulation and detection functions of these nanotweezers are evaluated in a focused ion beam/scanning electron microscopy (FIB/SEM) system.
- 2009-08-25
著者
-
HASHIGUCHI Gen
Research Institute of Electronics Shizuoka University
-
Konno Takashi
Aoi Electronics Co. Ltd.
-
Suzuki Masato
Aoi Electronics Co. Ltd.
-
Yasutake Masatoshi
SII NanoTechnology Inc., 36-1 Takenoshita, Oyama-cho, Sunto-gun, Sizuoka 410-1393, Japan
-
Yasutake Masatoshi
SII NanoTechnology Inc., Oyama, Shizuoka 410-1393, Japan
-
Hashiguchi Gen
Research Institute of Electronics, Shizuoka University, Hamamatsu 432-8011, Japan
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Umemoto Takeshi
SII NanoTechnology Inc., Oyama, Shizuoka 410-1393, Japan
-
Ayano Kenjiro
Aoi Electronics Co., Ltd., Takamatsu 761-8014, Japan
-
Konno Takashi
Aoi Electronics Co., Ltd., Takamatsu 761-8014, Japan
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