ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(2) : Ni型を用いたSU-8レジストへの熱・光併用インプリント(講座「ちょっとMEMS」第15回)
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概要
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- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2009-07-01
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