尹 成圓 | 独立行政法人 産業技術総合研究所
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概要
関連著者
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尹 成圓
独立行政法人 産業技術総合研究所
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高橋 正春
独立行政法人 産業技術総合研究所
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高橋 正春
独立行政法人産業技術総合研究所
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長谷川 公平
伊藤精工(株)
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
著作論文
- ホットエンボス成型による石英ガラス型を用いたホウケイ酸ガラスのマイクロ成型
- ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(2) : Ni型を用いたSU-8レジストへの熱・光併用インプリント(講座「ちょっとMEMS」第15回)
- ナノインプリント技術を活用した配線パターンの製作(1) : 熱インプリントとダマシン法を併用したパリレン薄膜への銅配線形成(講座「ちょっとMEMS」第14回)