20512 レーザー誘起表面弾性波測定による薄膜材料の機械的特性評価(トライボロジーと機械要素(1),OS.11 トライボロジーと機械要素)

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概要

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• Evaluation of mechanical properties of the thin film is very important to MEMS process, because it is well known that miniaturization of materials, such as nano particles, nano dots, etc., induces the characteristic physical and chemical properties, which are different from those of bulk materials. The mechanical properties of thin films were evaluated by laser-induced surface acoustic wave method (SAW method). We also used nanoindentation method in order to verify the validity of the results obtained by SAW method. The results indicate that SAW method is same level of accuracy of nanoindentation method.

• 社団法人日本機械学会の論文
• 2007-03-15

著者

• 佐々木 信也

  東京理科大学工学部

• 前田 龍太郎

  独立行政法人 産業技術総合研究所

• 前田 龍太郎

  産総研

• 佐々木 信也

  産総研

• 佐々木 信也

  産業技術総合研究所

• 高木 秀樹

  産総研

• 三宅 晃司

  産総研

• 佐々木 信也

  東京理科大学 工学部 機械工学科

• 佐々木 信也

  (独)産業技術総合研究所

• 佐々木 信也

  機械技術研究所

• 佐宗 めぐみ

  産総研

• 前田 竜太郎

  産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ

• 佐々木 信也

  独立行政法人 産業技術総合研究所

• 前田 龍太郎

  独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門

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