2109 原子間力顕微鏡を利用した薄膜材料の機械的特性評価(物性・試験評価法,一般講演)
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概要
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Recent developments in nanotechnology, such as the production of micro- and nano-electro-mechanical systems (MEMS and NEMS), have enabled the miniaturization of structures. However, it is also necessary to establish techniques for evaluating the mechanical properties of micro- and nanostructured materials. A nanoindenter is a tool for directly measuring the depth profile of the mechanical properties of thin-film materials. In this article, we will explain the principle of nanoindentation and the difficulty involved in the determination of contact area. Then, we will discuss the technical advantages of nanoindentation using our experimental data.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-04-18
著者
-
佐々木 信也
東京理科大学工学部
-
佐々木 信也
産総研
-
佐々木 信也
産業技術総合研究所
-
佐々木 信也
東理大
-
三宅 晃司
産総研
-
佐々木 信也
東京理科大学 工学部 機械工学科
-
佐々木 信也
(独)産業技術総合研究所
-
佐々木 信也
産業技術総合研究所機械システム研究部門
-
佐々木 信也
機械技術研究所
-
佐々木 信也
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
佐々木 信也
工業技術院機械技術研究所
-
佐々木 信也
機械技術研究所 基礎技術部 トライボロジー研究室
-
佐々木 信也
産業技術総合研
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