2107 DLC膜の構造変化に及ぼす熱および応力の影響(物性・試験評価法,一般講演)

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概要

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• Effects of temperature and stress on the structure change of the diamond-Like carbon (DLC) film were investigated by using the micro laser Raman spectroscopy. The DLC films were deposited on the stainless steel substrate by the plasma based ion implantation and deposition (PBII&D) using CH_4 as a raw material gas. Annealing tests were accomplished under the stress field by pressing the glass ball indenter on the DLC film. As a result, the changes of structure were observed in the annealed DLC films at temperatures over 648K. It is considered that the desorption behavior of hydrogen influenced the difference of structure changes between the loaded and the unloaded area of the DLC film.

• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2010-04-18

著者

• 佐々木 信也

  産業技術総合研究所

• 佐々木 信也

  東理大

• 佐々木 信也

  東京理科大学 工学部 機械工学科

• 佐々木 信也

  東京理科大学 工学部機械工学科

• 佐々木 信也

  機械技術研究所

• 佐々木 信也

  東京理科大学

• 佐々木 信也

  機械技術研究所 基礎技術部 トライボロジー研究室

• 佐々木 信也

  産業技術総合研

• 川口 雅弘

  都技研

• 徳田 祐樹

  東理大院

• 清水 綾

  都技研

• 佐々木 信也

  東京理科大学 工学部第一部 機械工学科

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