表面活性化法による封止接合(第2報) : 評価用Siマイクロ構造の設計と製作
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概要
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- 2002-10-01
著者
-
前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
前田 龍太郎
産業技術総合研究所
-
高木 秀樹
産総研
-
須賀 唯知
東京大学
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
岡田 浩尚
東京大学大学院工学系研究科
-
高木 秀樹
産業技術総合研究所
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
HOWLADER M.
東京大学先端研
-
前田 龍太郎
産業技術総合研
-
岡田 浩尚
東京大学大学院工学系研究科:(現)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
-
高木 秀樹
産業技術総合研
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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