MEMS技術とそのファンドリーネットワーク(最新の技術と研究から)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人精密工学会の論文
- 2003-11-05
著者
関連論文
- マイクロカンチレバーを用いた濃縮・分析機能を持つ高感度化学センサシステムの感度解析と濃縮率推定
- D209 非構造格子を用いたマイクロポンプ内流れの有限要素解析(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- カンチレバー型化学センサのオンチップ温度センサによる温度補償
- OS1-11 A Thermally Actuated Valveless Gas Pump
- 5028 A Valveless Micropump for Gases
- MEMS技術とそのファンドリーネットワーク(最新の技術と研究から)
- 最新の技術と研究から MEMS技術とそのファンドリーネットワーク
- 単結晶シリコンの異方性がディスク型MEMS振動子の振動特性に及ぼす影響
- P-138 匂い識別のためのガスセンサ応答解析(ポスターセッション,2008年度日本味と匂学会第42回大会)
- T0302-2-1 静電駆動型disk振動子を用いたMEMS発振器(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(2))
- 強誘電体材料も革新中!--既存プロセスに組み込め,信頼性の高い新材料とは? (次世代超高集積デバイスに挑む強誘電体薄膜メモリは本物か?)
- メモリ,コンデンサ用誘電体膜 (技術革新を担う材料技術-下-)
- 医療分野における現状と課題 (特集 バイオ産業におけるナノ・マイクロロボティクスの現状と将来)
- マイクロカンチレバーを用いた濃縮・分析機能を持つ高感度化学センサシステムの感度解析と濃縮率推定
- マイクロマシン技術とFMDを中心としたウェアラブルシステム(第9回ウェアラブル情報機器シンポジウム)
- 不揮発性メモリ-用強誘電体薄膜の信頼性
- マイクロマシンの光応用 : 光MEMSを中心とした開発事例とMEMSファンドリーサービスの紹介
- 共振型マイクロ化学センサへの感応膜塗布特性の制御のための表面微細パターンの利用
- シリコンカンチレバー質量センサにおける温度依存性の解析
- 709 ディスク型振動子デバイスの作製とその静電容量ギャップ形状の改善(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
- 共振型マイクロ化学センサへの感応膜塗布特性の制御のための表面微細パターンの利用