804 消費電力モニタリング用MEMS直流センサの開発(第2報)(OS8-(1)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
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概要
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A non-drive power, non-contact MEMS DC electric current sensor to satisfy the increasing needs of DC power supply for monitoring the electricity consumption by either one-wire or two-wire appliance cord has been proposed. A structural design with an applicable approach has been theoretically discussed in order to increase output voltage. A MEMS DC sensor has been then designed from the view point of reasonable output voltage measurements, and preliminarily micro-fabricated for further characterizations.
- 2011-08-26
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