806 圧電薄膜カンチレバーによる高調波共振效果の探索(OS8-(2)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
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概要
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The super-harmonic effect has been studied using a piezoelectric micro-cantilever with a proof mass. The fabricated prototype device, comprised with a multilayer of Pt/Ti/PZT/Pt/Ti/SiO_2 deposited on a silicon-on-insulator (SOI) wafer, has been measured to have an eigenstate frequency of around 812 Hz. The driven frequencies of 204, 272, 402 and 812 Hz have been then converted into the resonant one via the super-harmonic vibration, corresponding to a sudden increase of output voltage, based on our preliminary characterizations.
- 2011-08-26
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