マイクロ・アクチュエータのためのレーザーアブレーション法によるPZT薄膜の作製と評価

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概要

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• 電気学会の論文
• 2001-03-01

著者

• 前田 龍太郎

  産業総合技術研究所

• 王 占杰

  東北大学

• 前田 龍太郎

  通商産業省工業技術院機械技術研究所

• 王 占杰

  通商産業省工業技術院機械技術研究所

• 林 文美

  通商産業省工業技術院機械技術研究所

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