403 Pt/Ti/SiO_2/Si基板のプレアニーリングによる(111)面配向のPZT薄膜の作製(薄膜,平成18年度春季全国大会)

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概要

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• 社団法人溶接学会の論文
• 2006-03-23

著者

• 粉川 博之

  東北大学大学院

• 王 占杰

  東北大学大学院工学研究科

• 王 占杰

  東北大学

• 王 大鵬

  東北大学大学院工学研究科

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