304 Rapid Thermal Annealing(RTA)によるPZT薄膜の結晶化(皮膜形成)

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概要

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• 社団法人溶接学会の論文
• 2004-08-20

著者

• 粉川 博之

  東北大学大学院

• 前田 龍太郎

  産業総合技術研究所

• 王 占杰

  東北大学大学院工学研究科

• 青木 悠生

  東北大学大学院工学研究科

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