マイクロ・アクチュエータのためのゾルーゲル法によるPZT積層膜の作製と評価
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概要
著者
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菊地 薫
機械技術研究所
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前田 龍太郎
産業総合技術研究所
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王 占杰
東北大学
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前田 龍太郎
通商産業省工業技術院機械技術研究所
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王 占杰
通商産業省工業技術院機械技術研究所
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菊地 薫
通商産業省工業技術院機械技術研究所
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