エキシマレ-ザによるシリコン及びパイレックスガラスの微細加工
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- PG2 低応力窒化ケイ素薄膜によるカンチレバーの共振法を用いた弾性特性評価(ポスターセッション1)
- 真空中でのシリコンウェハ-の常温直接接合
- 104 圧電薄膜を利用したアクティブスライダの試作(情報機器コンピュータメカニクス1 : ヘッド・ディスク・インタフェース)
- ゾルーゲル法により作製したPZT薄膜の優先配向に及ぼす熱処理の効果
- ゾルーゲル法により作製したPZT薄膜の微細組織の電子顕微鏡観察
- マイクロ・アクチュエータのためのゾルーゲル法によるPZT積層膜の作製と評価
- エキシマレ-ザによるシリコン及びパイレックスガラスの微細加工
- ArFエキシマレーザによる高分子材料のアブレーション特性に関する基礎的研究
- ジェットモールディング法による微小アクチュエータの製作
- 液体粘性の温度依存性に基づく整流機構を利用する双方向マイクロポンプ
- 液体粘性の温度依存性を利用する双方向マイクロポンプ
- エキシマレーザーアブレーションによるPZT薄膜の形成
- 強誘電体を利用したソリッドステートトランスデューサ技術
- 中性塩電解液中におけるSUS430鋼の電解脱スケール機構