菊地 薫 | 機械技術研究所
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概要
関連著者
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菊地 薫
機械技術研究所
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前田 龍太郎
産業総合技術研究所
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王 占杰
東北大学
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前田 龍太郎
機械技術研究所
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王 占杰
機械技術研究所
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山本 博之
新日鉄 環境・プロセス研究開発セ
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山田 幸生
工業技術院機械技術研究所
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高木 秀樹
産総研
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山田 幸生
機械技術研究所
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石黒 博
筑波大学構造工学系
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前田 龍太郎
機械技研
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前田 龍太郎
通商産業省工業技術院機械技術研究所
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石黒 博
筑波大学機能工学系
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王 占杰
通商産業省工業技術院機械技術研究所
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菊地 薫
通商産業省工業技術院機械技術研究所
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山本 博之
筑波大学大学院
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菊地 薫
工業技術院機械技術研究所
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鹿田 順生
機械技術研究所
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山本 博之
電源開発(株)
著作論文
- 真空中でのシリコンウェハ-の常温直接接合
- ゾルーゲル法により作製したPZT薄膜の優先配向に及ぼす熱処理の効果
- ゾルーゲル法により作製したPZT薄膜の微細組織の電子顕微鏡観察
- マイクロ・アクチュエータのためのゾルーゲル法によるPZT積層膜の作製と評価
- エキシマレ-ザによるシリコン及びパイレックスガラスの微細加工
- ArFエキシマレーザによる高分子材料のアブレーション特性に関する基礎的研究
- 中性塩電解液中におけるSUS430鋼の電解脱スケール機構