張 麓〓 | 産業技術総合研究所
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概要
関連著者
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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前田 龍太郎
産業技術総合研究所
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王 占杰
東北大学
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一木 正聡
産業技術総合研究所
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曹 俊杰
産業技術総合研究所
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張 麓〓
産業技術総合研究所
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一木 正聡
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークmems研究グループ
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前田 龍太郎
産業技術総合研
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一木 正聡
産業技術総合研
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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王 占杰
東北大学大学院工学研究科
著作論文
- 圧電性材料の成膜技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の成膜とデバイス形成に関する研究
- 圧電性材料の厚膜形成技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の積層構造体作製とデバイス形成に関する研究
- 微細加工技術を用いた圧電体成膜・デバイス形成技術に関する研究