教育情報 PLZT素子を用いた静電型光モータの研究
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- Pb(Zr,Ti)O_3薄膜のウエットエッチングにおけるダメージのLaNiO_3導電性酸化物薄膜による低減
- 圧電性材料の成膜技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の成膜とデバイス形成に関する研究
- PLZT積層膜構造体の光起電力特性
- 圧電性材料の厚膜形成技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の積層構造体作製とデバイス形成に関する研究
- パワーMEMS
- 3220 ピエゾ素子による発電(第 4 報) : 機械及び電気特性
- 微細加工技術を用いた圧電体成膜・デバイス形成技術に関する研究
- ジェットモールディングによる微小アクチュエータの制作
- PLZT素子を用いた静電型光モータの機構
- 光起電力素子PLZTの電気的性質と光モータへの応用
- PLZT素子を用いた静電型光モータの研究 : 静電型光モータに於けるPLZT素子サイズの影響(機械力学,計測,自動制御)
- 強誘電体薄膜の光起電力と応用
- PLZT素子を用いた静電型光モータの研究--光のレーザーで動くアクチュエータ
- PLZT素子を用いた静電型光モータの研究 : 駆動原理と基礎的実験(機械力学,計測,自動制御)
- 222 分極印可電圧が光モータ用 PLZT 素子の光起電力効果に及ぼす影響
- 2P2-H09 静電型光モータにおける PLZT 素子のサイズの影響
- 教育情報 PLZT素子を用いた静電型光モータの研究
- 1A1-M10 静電型光モータの駆動実験(43. アクチュエータの機構と制御)
- 126 静電型光モータの基礎的実験
- 2P1-47-078 静電型光モータの駆動機構