1A1-M10 静電型光モータの駆動実験(43. アクチュエータの機構と制御)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-06-08
著者
-
中田 毅
東京電機大学情報環境学部情報環境学科
-
森川 泰
産総研
-
中田 毅
工業技術院機械技術研究所
-
中田 毅
東京電機大学工学部精密機械工学科
-
一木 正聡
産総研
-
一木 正聡
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークmems研究グループ
-
中田 毅
東京電機大学
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