2P2-H09 静電型光モータにおける PLZT 素子のサイズの影響
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概要
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非接触エネルギー供給が可能などの優れた特性を持つ静電型光モータの研究を行っている。この静電型光モータは, 光起電圧効果を持つPLZT素子が紫外光照射を受けた時に発生する高電圧を利用して, 静電力によって駆動される。そのため照射光強度や素子サイズなどにより変化するPLZT素子の光起電圧の特性が静電型光モータの性能に大きく影響を及ぼす。そこで, 静電型光モータに用いるPLZT素子のサイズが光モータの性能にどの様に影響を及ぼすすか, またどの様なサイズのPLZT素子を用いれば良いかについて検討した。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
著者
-
森川 泰
産業技術総合研究所
-
中田 毅
東京電機大学情報環境学部情報環境学科
-
一木 正聡
産業技術総合研究所
-
中田 毅
工業技術院機械技術研究所
-
中田 毅
東京電機大学工学部精密機械工学科
-
一木 正聡
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 ネットワークmems研究グループ
-
荒井 真
東京電機大
-
大泉 彰吾
東京電機大
-
一木 正聡
産業技術総合研
-
中田 毅
東京電機大学
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