PZT圧電マイクロカンチレバーを用いた走査型力顕微鏡による加工
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概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-03-05
著者
-
須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
-
伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
-
片岡 憲一
東京大学先端研
-
片岡 憲一
東京大学大学院
-
JIARU Ohu
東京大学先端研
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
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