片岡 憲一 | 東京大学先端研
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概要
関連著者
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片岡 憲一
東京大学先端研
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須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
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伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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須賀 唯知
東京大学
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片岡 憲一
東京大学大学院
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河村 晋吾
東京大学工学部
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須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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前田 龍太郎
機械技術研究所
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Chu J
機械技術研究所
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須賀 唯知
東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
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須賀 唯知
東京大学工学系研究科
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河村 晋吾
東京大学大学院
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前田 竜太郎
産業技術総合研 集積マイクロシステム研究セ
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楮 家如
東京大学工学部
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CHU Jiaru
機械技術研究所
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JIARU Chu
機械技術研究所
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JIARU Ohu
東京大学先端研
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片岡 憲一
東京大学工学部
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伊藤 寿浩
東京大学工学部
著作論文
- MEMSプローブカードのためのフリッティングコンタクト : (第6報)銅電極のフリッティング特性
- フリッティングを用いた低接触力MEMSプローブカードのためのマイクロカンチレバーの開発 : (第2報)マイクロカンチレバーの特性
- MEMSブローブカードのためのフリッティングコンタクト : 第5報 電圧・電流印加法とフリッティング特性
- フリッティングを用いた低接触力MEMSブローブカードのためのマイクロカンチレバーの開発
- マイクロマシンプローブによる低接触力コンタクト
- マイクロマシンプローブカードへのフリッティングコンタクトプロセスの適用可能性
- MEMSプローブカードのためのフリッティングコンタクト(第2報)電極材料とフリッティング特性
- MEMSプローブカードのための低接触力カフリッティングコンタクト
- MEMSブローブカードのためのフリッティングコンタクト : (第4報)雰囲気とフリッティング特性
- 走査型力顕微鏡のための三次元駆動圧電マイクロカンチレバー
- 圧電マイクロ走査型力顕微鏡の開発
- PZT圧電マイクロカンチレバーを用いた走査型力顕微鏡による加工
- 圧電薄膜微小力センサーを用いたコンタクトモード走査型力顕微鏡