河村 晋吾 | 東京大学工学部
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概要
関連著者
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片岡 憲一
東京大学先端研
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河村 晋吾
東京大学工学部
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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須賀 唯知
東京大学
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須賀 唯知
東京大学先端科学技術研究センター
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伊藤 寿浩
東京大学先端科学技術研究センター
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河村 晋吾
東京大学大学院
著作論文
- フリッティングを用いた低接触力MEMSプローブカードのためのマイクロカンチレバーの開発 : (第2報)マイクロカンチレバーの特性
- MEMSブローブカードのためのフリッティングコンタクト : 第5報 電圧・電流印加法とフリッティング特性
- フリッティングを用いた低接触力MEMSブローブカードのためのマイクロカンチレバーの開発
- マイクロマシンプローブによる低接触力コンタクト
- MEMSブローブカードのためのフリッティングコンタクト : (第4報)雰囲気とフリッティング特性