Microfabricated Dynamic Scanning Force Microscope Using a Three Dimensional Piezoelectric T-shape Actuator
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1999-12-30
著者
-
Suga Tadatomo
Research Center For Advanced Science And Technology University Of Tokyo
-
Suga T
Research Center For Advanced Science And Technology University Of Tokyo
-
Maeda R
National Inst. Advanced Industrial Sci. And Technol. Ibaraki Jpn
-
Chu J
Shanghai Inst. Of Technical Physics Chinese Acad. Of Sci. Shanghai Chn
-
Chu Jiaru
Mechanical Engineering Laboratory Agency Of Industrial Science And Technology Ministry Of Internatio
-
Chu J
Univ. Sci. And Technol. Of China Anhui Chn
-
MAEDA Ryutaro
Mechanical Engineering Laboratory, Agency of Industrial Science and Technology, Ministry of Internat
-
ITOH Toshihiro
Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo
-
KATAOKA Kenichi
Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo
-
Suga Tadatomo
Research Center For Advanced Science And Technology (rcast) The University Of Tokyo
-
Maeda Ryutaro
Mechanical Engineering Laboratory
-
Kataoka Kenichi
Research Center For Advanced Science And Technology The University Of Tokyo
-
Itoh Toshihiro
Research Center For Advanced Science And Technology (rcast) The University Of Tokyo
-
伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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