開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発

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概要

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• 2013-05-01

著者

• 紺野 伸顕

  技術研究組合 BEANS研究所 Macro BEANS センター

• 徳永 隆志

  技術研究組合 BEANS研究所 Macro BEANS センター

• 伊藤 寿浩

  技術研究組合 Beans研究所 Macro Beans センター

• 内藤 皓貴

  技術研究組合 BEANS研究所

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