紺野 伸顕 | 技術研究組合 BEANS研究所 Macro BEANS センター

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概要

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関連著者

• 紺野 伸顕

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• 徳永 隆志

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• 伊藤 寿浩

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• 内藤 皓貴

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• 横山 吉典

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• 伊藤 寿浩

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• 伊藤 寿浩

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• 内藤 皓貴

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• 横山 吉典

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著作論文

• 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価
• 開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発

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