内藤 皓貴 | 技術研究組合 BEANS研究所

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概要

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関連著者

• 内藤 皓貴

  技術研究組合 BEANS研究所

• 紺野 伸顕

  技術研究組合 BEANS研究所 Macro BEANS センター

• 徳永 隆志

  技術研究組合 BEANS研究所 Macro BEANS センター

• 伊藤 寿浩

  技術研究組合 Beans研究所 Macro Beans センター

• 横山 吉典

  BEANSプロジェクト Macro BEANS センター

• 伊藤 寿浩

  BEANSプロジェクト Macro BEANS センター

• 伊藤 寿浩

  技術研究組合BEANS研究所 Macro BEANS センター

• 内藤 皓貴

  技術研究組合 Beans研究所 Macro Beans センター

• 横山 吉典

  技術研究組合 BEANS研究所 Macro BEANS センター

著作論文

• 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価
• 国際会議報告：JCK MEMS / NEMS 2011 (The 2nd Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS / NEMS for Green & Life Innovation and Industrial Convergence) 報告
• 開放系でのプラズマプロセス実現に向けた雰囲気制御技術開発

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