横山 吉典 | BEANSプロジェクト Macro BEANS センター

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• 伊藤 寿浩

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• 吉田 幸久

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• 横山 吉典

  三菱電機(株)

• 伊藤 寿浩

  技術研究組合BEANS研究所 Macro BEANS センター

• 内藤 皓貴

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• 伊藤 寿浩

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• 内藤 皓貴

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著作論文

• プラズマ化学輸送法により作製したシリコン膜特性評価
• 37th International Symposium on Microelectronics (IMAPS 2004) 報告
• Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出
• 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価
• Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出

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