Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出

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概要

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• The novel mist-jet technology using a silicon nozzle and a silicon reflector has been developed. Ejection of water mist containing the silicon microparticles is demonstrated. Impurities of the silicon microparticles ejected on the substrate are analyzed. It has been verified for the first time that the contamination is reduced by the silicon head. The silicon pattern drawn by the head is successfully formed.

• 2011-06-01

著者

• 村上 隆昭

  BEANSプロジェクト Macro BEANS センター

• 吉田 幸久

  BEANSプロジェクト Macro BEANS センター

• 横山 吉典

  BEANSプロジェクト Macro BEANS センター

• 伊藤 寿浩

  BEANSプロジェクト Macro BEANS センター

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