37th International Symposium on Microelectronics (IMAPS 2004) 報告
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2005-04-01
著者
関連論文
- プラズマ化学輸送法により作製したシリコン膜特性評価
- メカニカル光スイッチ用光学系に関する検討
- 磁力を用いたマイクロマシンの組立技術
- テーパ形状を有したマイクロ接合素子の加工法
- 207 MEMSパッケージ封止接合部の強度信頼性評価 : せん断負荷による評価(マイクロ・ナノI,一般セッション)
- F-1224 局所加熱によるマイクロパーツの接着作業(S46-2 マイクロ・ナノ作業(2))(S46 マイクロ・ナノ作業)
- 湾曲撮像素子の構造開発(設計と最適化V)
- 薄肉シリコンの強度評価技術の開発(GS8 マイクロ/ナノ試験・薄膜)
- ループ型マイクロ流路におけるサーマルポンプシステム
- K-1506 マイクロ流路における熱流体現象に関する一考察(J07-1 マイクロ熱流体現象・計測技術)(J07 マイクロマシン技術と熱流体現象)
- 37th International Symposium on Microelectronics (IMAPS 2004) 報告
- Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出
- MEMSパッケージ封止接合部の強度信頼性評価 (特集 マイクロマテリアル)
- 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価
- Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出
- MEMSパッケージ封止接合部の強度信頼性評価