プラズマ化学輸送法により作製したシリコン膜特性評価
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2010-06-01
著者
-
村上 隆昭
BEANSプロジェクト Macro BEANS センター
-
吉田 幸久
BEANSプロジェクト Macro BEANS センター
-
横山 吉典
BEANSプロジェクト Macro BEANS センター
-
伊藤 寿浩
BEANSプロジェクト Macro BEANS センター
関連論文
- プラズマ化学輸送法により作製したシリコン膜特性評価
- 37th International Symposium on Microelectronics (IMAPS 2004) 報告
- Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出
- 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価
- Siノズルを用いたSi微粒子のミスト吐出
- シリコーンエラストマーを用いた製織シートデバイス用接点構造の開発とその特性評価
- BEANSプロジェクトにおける製織シートデバイス用接点構造に関する研究
- BEANSプロジェクトにおける製織シートデバイス用接点構造に関する研究