1A26 窒化アルミニウムセラミックスの湿式研磨における表面損傷の電顕観察
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 1991-05-22
著者
-
高橋 裕
東大工
-
河田 研治
タイホー工業(株)中央研究所
-
鈴木 重信
職業訓練大学校
-
菊池 正雄
東京大学工学部精密機械工学科
-
岡野 清
東京大学先端科学技術研究センター
-
岡野 清
東大
-
菊池 正雄
東大院
-
鈴木 重信
職訓大
-
須賀 唯知
東大先端研
-
河田 研治
タイホー工業
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