須賀 唯知 | 東大先端研
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概要
関連著者
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須賀 唯知
東大先端研
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター
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伊藤 寿浩
東大先端研
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伊藤 寿浩
東大大学院工学系
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大橋 隆弘
東大大学院
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伊藤 寿浩
産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター
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高木 秀樹
産総研
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須賀 唯知
東京大学
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鈴木 重信
職業訓練大学校
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菊池 正雄
東京大学工学部精密機械工学科
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鈴木 重信
職訓大
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李 正國
東大 (院)
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須賀 唯知
東京大学大学院工学系研究科
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重藤 暁津
独立行政法人物質・材料研究機構ハイブリッド材料センター機能化インターコネクショングループ
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前田 龍太郎
独立行政法人 産業技術総合研究所
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前田 龍太郎
産業技術総合研究所
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高橋 裕
東大工
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安永 暢男
新日本製鐵(株)
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河田 研治
タイホー工業(株)中央研究所
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重藤 暁津
東京大学大学院工学系研究科
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高木 秀樹
産業技術総合研究所
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岡野 清
東京大学先端科学技術研究センター
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岡野 清
東大
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菊池 正雄
東大院
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高橋 裕
東大先端研
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菊池 正雄
東大(院)
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安永 暢男
新日鉄
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河田 研治
タイホー工業
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高木 秀樹
工技院機械研
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重藤 暁津
物質材料研究機構
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前田 龍太郎
産業技術総合研
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重藤 暁津
東大大学院
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細田 奈緒絵
東大先端研
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李 正國
東大(院)
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重藤 暁津
独立に政法人物質・材料研究機構
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松沢 有三
東大大学院
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高木 秀樹
産業技術総合研
著作論文
- 1A26 窒化アルミニウムセラミックスの湿式研磨における表面損傷の電顕観察
- 1A09 窒化けい素・炭化けい素セラミックスのメカノケミカルポリシング
- 金属膜中間層を用いた異種材料のウエハ常温接合
- MEMSパッケージングにおける表面活性化常温接合の可能性
- 圧電薄膜式微小力センサーを利用した走査型力顕微鏡 (第4報)
- マルチプローブ微小力センサーの開発
- 二分割電極微小力センサーの開発
- 次世代MEMSパッケージング技術のための表面活性化常温直接接合法を用いたCu電極バンプレス接続
- ゾル-ゲルPNNZT薄膜を利用した微小力センサープローブの開発
- ゾルーゲルPZT薄膜を利用した微小力センサープローブの開発(第二報)
- Au微細バンプの常温マイクロ接続