ポリイミド導波路付半導体レーザ
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概要
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GaAs基板上にポリイミド導波路を一体化した半導体レーザを作製し、光ビームの制御(分割、コリメート)を試みた。ビームの分割には、ポリイミド導波路に溝構造のハーフミラーを作製した。溝への入射角が臨界角以下の場合、溝幅が最適なところでハーフミラーが得られた。また、導波路内で平行ビームを得るために、放物型の内部全反射ミラーを有するポリイミド導波路を作製した。遠視野像(FFP)は1.8°が得られた。これらの素子は、半導体レーザを内蔵した集積型マイクロセンサへ応用できる。
- 1998-08-27
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