一体化プリズム走査干渉計を用いたフーリエ変換分光器の開発 (特集論文 高感度センシング技術)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- 複合構成半導体基板自動加工システムの開発
- MEMS光スイッチモジュール(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- MEMS光スイッチモジュール(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- MEMS光スイッチモジュール(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- MEMS光スイッチモジュール(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- C-3-127 100 入力 100 出力, 3-D MEMS 光スイッチモジュール
- 3-D MEMS大規模光スイッチ
- 一体化プリズム走査干渉計を用いたフーリエ変換分光器の開発 (特集論文 高感度センシング技術)
- 一体型プリズム走査干渉計を用いた携帯フーリエ変換分光器
- 小型フーリエ変換分光器のためのプリズム干渉計
- 集積型マイクロ変位センサを用いたレーザドップラ速度計測
- フッ素化ポリイミドとSPPを用いた高アスペクト比加工
- SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
- 赤外光利用による半導体厚さ測定(光学的非接触方式による高精密測定技術)
- マイクロマシン技術による超小型分光器の開発とその応用
- 5 半導体レーザを集積した光マイクロセンサ(マイクロマシンの現状と動向)
- 集積化マイクロエンコーダ(マイクロ構造デバイスの現状)