波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール(光部品の実装・信頼性,一般)
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概要
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波長選択スイッチ(WSS:Wavelength Selective Switch)用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーアレイモジュールを開発した。MEMSミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的な干渉を低減するため、電極構造の最適設計を行った。さらに、MEMSミラーアレイをモジュール化するために必要な、小型気密封止パッケージ構造、および高密度フレキシブル電気インタフェース構造を開発した。これらの技術を適用して試作した50ch-MEMSミラーアレイモジュールの基本特性を評価した結果、設計仕様を満たす良好な回転特性、および電気干渉低減効果を確認した。
- 2009-04-10
著者
-
野中 聡
旭川医科大学耳鼻咽喉科・頭頸部外科学講座
-
野中 源一郎
九州大学薬学部
-
松浦 徹
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
阪田 知巳
日本電信電話
-
内山 真吾
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下山 展弘
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
橋本 悦
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
葉玉 恒一
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 雄三
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下山 展弘
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下川 房男
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
NTT境界領域研究所
-
石井 雄三
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 雄三
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
Ntt マイクロシステムインテグレーション研
-
橋本 悦
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下川 房男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社
-
下川 房男
日本電信電話(株)ntt通信エネルギー研究所
-
葉玉 恒一
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
阪田 知巳
日本電信電話株式会社
-
下山 展弘
日本電信電話株式会社
-
内山 真吾
日本電信電話株式会社
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
橋本 悦
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下川 房男
日本電信電話株式会社
-
松浦 徹
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
碓氷 光男
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下川 房男
日本電信電話 (株)
-
内山 真吾
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
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