C-5-10 MEMS型空間光学系光スイッチの耐振動信頼性に関する検討(C-5.機構デバイス)
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概要
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- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-03-05
著者
-
松浦 徹
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
NTT光エレクトロニクス研究所
-
山本 剛
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
水上 雅人
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
-
松浦 徹
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムイングレーション研究所
-
松浦 伸昭
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムイングレーション研究所
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