高周波駆動法によるMEMSミラードリフトレス化の研究(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
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概要
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光スイッチなどで注目を集めている静電駆動型MEMS(Micro Electro Mechanical System)ミラーの駆動には、通常DC電圧を駆動電極に印加し制御することが一般的である。しかし、DC電圧で駆動すると一定の電圧を印加していても角度が時間と共に変化する角度ドリフトが発生する。この現象に対する回避策として、AC電圧を印加する高周波駆動が有効であることが知られているが、その原理や詳細な実験結果は報告されていない。本稿では、MEMSミラーの高周波駆動におけるドリフト抑制原理の解明とミラー駆動に求められるアンプ特性の必要条件について報告する。高周波駆動を用いたMEMSミラーを光スイッチに適用し、特性評価からその有効性を示した。
- 2006-08-17
著者
-
笹倉 久仁彦
日本電信電話株式会社 NTT通信エネルギー研究所
-
山口 城治
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
根本 成
日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
NTT光エレクトロニクス研究所
-
笹倉 久仁彦
NTTアドバンステクノロジ株式会社
-
山口 城治
日本電信電話株式会社
-
山口 城治
日本電信電話(株)
-
山口 城治
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
-
笹倉 久仁彦
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
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