3D-MEMS光スイッチモジュールの開発 : —自動特性評価系の構築と試作モジュールの動作検証—
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概要
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We have developed an automatic measurement system for the efficient evaluation of the switching characteristics of optical MEMS switch modules. In an experimental evaluation of a prototype optical switch module, the insertion loss and the switching time of all optical paths can be measured in the time 1/10 or less compared with the conventional measurement. Moreover, we demonstrated that dynamic optical characteristics, such as electrical and mechanical interferences, can be evaluated automatically. We also confirmed that a practical 3-D MEMS optical switch module can be constructed.
- 公益社団法人 精密工学会の論文
著者
-
水上 雅人
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
根本 成
日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下川 房男
日本電信電話(株)ntt通信エネルギー研究所
-
山口 城治
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
日本電信電話株式会社
-
山口 城治
日本電信電話(株)
-
河尻 祐子
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下川 房男
日本電信電話 (株)
-
水上 雅人
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
-
山口 城治
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
-
河尻 祐子
日本電信電話 (株) マイクロシステムインテグレーション研究所
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