熱毛管現象を利用した自己保持型導波路光スイッチ
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概要
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光配線のクロスコネクト用スイッチは光ユーザ系や光インターコネクションに柔軟性と信頼性を与えこれら光システムの使い勝手を向上するために必須である. 溝付き交差導波路を用いた光スイッチは溝内の屈折率整合液の有無で透過/全反射状態を実現し光路の切替を行うことを原理とする. そのため高集積性, 低損失, 高い透明性(偏波/波長無依存)といった優れた性質を有する. これまでに溝内の液の有無を実現する方法として, 液の電気分解/再結合を用いるスイッチと, マイクロアクチュエータにより間隙を変えて毛管現象で液の出し入れを行う毛管現象光スイッチ, およびミラーとなる水銀滴を溝内で移動させる電気毛管光スイッチの提案があった. しかし, 従来の方式では長期信頼性を保証した製造が困難であった. 本報告では, 屈折率整合オイルを密閉した溝内で移動させる新規な光スイッチ構造を提案する. このスイッチは熱毛管現象を利用しており, 液駆動は溝近傍に設けたヒータによる加熱で行う. 自己保持性があり, 構造は極めて単純で高集積に作製することが可能である. また, 本方式による規模1×3のスイッチを試作し良好な切替を確認したので報告する.
- 1997-08-13
著者
-
佐藤 誠
株式会社数理システム
-
牧原 光宏
日本電信電話株式会社
-
下川 房男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
下川 房男
日本電信電話(株)ntt通信エネルギー研究所
-
西田 安秀
日本電信電話(株)ntt通信エネルギー研究所
-
佐藤 誠
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
佐藤 誠
NTT光エレクトロニクス研究所
-
下川 房男
NTT光エレクトロニクス研究所
-
西田 安秀
NTT光エレクトロニクス研究所
-
牧原 光宏
NTT光エレクトロニクス研究所
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