エネルギービーム(イオン, 中性粒子)と固体表面との相互作用 : 表面での物理/化学現象に着目して(<特集>ナノメータスケールの加工技術-加工界面での化学/物理反応に着目して)
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-04-05
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