半導体の材料・プロセスの独創的な技術開発に挑む(グラビアとインタビュー 精密工学の最前線)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 公益社団法人精密工学会の論文
• 2007-09-05

著者

• 内田 岱二郎

  東京大学:名古屋大学:元アルバック

• 下川 房男

  NTTマイクロシステムインテグレーション研究所

• 石川 道夫

  株式会社アルバック半導体技術研究所

• 下川 房男

  Ntt

関連論文

• 凹面ミラーを用いた512×512ポート3D-MEMS光スイッチモジュール(フォトニックNWシステム・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
• C-3-82 二軸回転可能な狭ピッチMEMSミラーアレイ(3) : 電気干渉低減構造のモノリシック化(光スイッチ,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• 波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール(光部品の実装・信頼性,一般)
• 波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール(光部品の実装・信頼性,一般)
• 波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイモジュール(光部品の実装・信頼性,一般)
• C-3-63 二軸回転可能な狭ピッチMEMSミラーアレイ(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• 波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
• 波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
• 波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
• 波長選択スイッチにおける電気干渉低減MEMSミラーアレイの作製(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
• 凹面ミラーを用いた512×512ポート3D-MEMS光スイッチモジュール(フォトニックNWシステム・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
• 凹面ミラーを用いた512×512ポート3D-MEMS光スイッチモジュール(フォトニックNWシステム・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
• C-3-78 MEMSミラーを用いた1x43ポート波長選択スイッチ(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• C-3-81 動的クロストークを低減したMEMS型波長選択スイッチ(光スイッチ,C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• C-3-18 ニ軸回転可能な狭ピッチMEMSミラーアレイ(2) : 隣接チャネル間電気干渉の低減(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
• 凹面ミラーを用いた512×512ポート3D-MEMS光スイッチモジュール
• 熱毛管現象を利用した自己保持型導波路光スイッチ
• マイクロ光通信デバイスの製造技術とその応用
• MRAM(Magnetic Random Access Memory)高温エッチング技術の開発(新型不揮発性メモリー)
• 熱毛管光スイッチ(Olive)の高速化技術とフォトニックネットワークへの応用 (特集論文1 フォトニックネットワークを実現する光スイッチング技術)
• MPA (methylpyrrolidine alane)を用いたAl CVD技術
• 熱毛管型光導波路スイッチの開発(1999年度(第19回)精密工学会技術賞)
• C-3-142 熱毛管光スイッチの初期信頼性
• マイクロメカニカル光スイッチ (特集論文 情報通信とマイクロメカトロニクス)
• 熱毛管現象を用いた交差導波路型マイクロ光スイッチの開発
• OSU予備切替用8:1導波路型光スイッチ
• 半導体の材料・プロセスの独創的な技術開発に挑む(グラビアとインタビュー 精密工学の最前線)
• エネルギービーム(イオン, 中性粒子)と固体表面との相互作用 : 表面での物理/化学現象に着目して(ナノメータスケールの加工技術-加工界面での化学/物理反応に着目して)
• 界面張力制御を用いた液体駆動型光導波路スイッチ
• 高密度プラズマエッチング装置による石英の高速加工

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク