SiC単結晶の研磨工程の高能率化 (マテリアルフォーカス:エレナノ 2か月連続特集--電流を整える,電流のムダを無くすなど省エネに寄与する半導体--2010年代前半に爆発的普及が予測されるSic系パワー半導体(1)素子・素材編)
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