原子間力顕微鏡(AFM)を用いた平面導波路型光路垂直変換デバイスのミラー表面評価
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-09-07
著者
-
都丸 暁
Nttアドバンステクノロジ株式会社
-
圓佛 晃次
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
安東 泰博
(株)フジクラ光電子回路開発センター
-
安東 泰博
NTT光エレクトロニクス研究所
-
安東 泰博
(株)フジクラ 光電子回路開発センター
-
河尻 祐子
NTT光エレクトロニクス研究所
-
都丸 暁
NTT光エレクトロニクス研究所
-
河尻 祐子
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
河尻 祐子
NTT 通信エネルギー研究所
-
新井 芳光
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
新井 芳光
NTT光エレクトロニクス研究所
-
圓佛 晃次
NTT光エレクトロニクス研究所
-
新井 芳光
日本電信電話株式会社 Ntt通信エネルギー研究所
-
河尻 祐子
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
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