45°ミラー付き低損失ポリマ光導波路
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概要
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光導波路平面に対し垂直方向に光を入出力する光路変換機能を有する光導波路は、光送受信器やチップ間・ボード間光インタコネクション、オプティカルバス、光表面実装など多くの光配線を利用したモジュール・装置を実現するためのキーデバイスである。 我々は、これまでに先端形状が90°V字形ダイヤモンドブレードを用いた研削加工により、ポリマ光導波路中に45°ミラーを形成する方法を考案し、良好な特性を持つ45°全反射ミラー付きシングルモード・マルチモードポリマ光導波路フィルムを作製したことを報告してきたが、この方法で作製したミラーは構造上導波光を基板方向に偏向するため、通常は、導波路を基板から剥離し光導波路フィルム化する必要があった。そこで今回、加工に先端形状が45°レの字形ダイヤモンドブレードを用いることにより、導波光を基板上方に偏向する45°ミラー付きマルチモードポリマ光導波路を作製し、良好な結果を得たので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-13
著者
-
都丸 暁
Nttアドバンステクノロジ株式会社
-
疋田 真
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
今村 三郎
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
都丸 暁
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
吉村 了行
NTT 光エレクトロニクス研究所
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