チップ間光インタコネクションのためのDrop-on-Demandマイクロレンズ作製
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概要
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チップ間光インタコネクションへの適用を狙った光I/O-chip構成と、その実装において、光インタフェースを規定するマイクロレンズをフレキシブルかつ低コストに提供できるDrop-on-Demand作製法を提案した。Drop-on-Demand作製法として、インクジェット方式とディスベンサ方式の二方式を検討し、ともに良好なマイクロレンズを得た。また、レンズ作製のフレキシビリィーを活かして、VCSELの出射端に直接マイクロレンズを形成し、光ファイバとの高効率な光結合を得た。
- 1999-08-26
著者
-
安東 泰博
(株)フジクラ光電子回路開発センター
-
安東 泰博
NTT通信エネルギー研究所
-
安東 泰博
(株)フジクラ 光電子回路開発センター
-
小池 真司
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 雄三
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
新井 芳光
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
石井 雄三
NTT通信エネルギー研究所
-
小池 真司
NTT通信エネルギー研究所
-
新井 芳光
NTT通信エネルギー研究所
-
新井 芳光
日本電信電話株式会社 Ntt通信エネルギー研究所
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