C-12-32 CMOS-MEMSの可動部位置制御のための容量センサ回路(センサ・3次元撮像素子,C-12.集積回路,一般セッション)
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概要
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- 2009-09-01
著者
-
森村 浩季
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
島村 俊重
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
町田 克之
NTTアドバンステクノロジ
-
佐藤 昇男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
桑原 啓
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
町田 克之
Nttアドバンストテクノロジ株式会社
-
桑原 啓
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
島村 俊重
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
町田 克之
東京工業大学,NTTアドバンステクノロジ株式会社
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