高信頼性指紋センサLSI
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概要
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近年、情報端末の不正使用を防止するためにバイオメトリクスを利用した認証システムが注目されている。我々は、LSI上でセンシングと認証が可能なワンチップ指紋認証センサLSIを開発した。本報告では、本LSIに導入した指紋センサのセンサ構造及びセンサプロセスについて説明し、信頼性評価結果について述べる。さらに、信頼性の課題と、その課題を克服した手法について述べる。半導体式容量型センサの信頼性課題は、大きく分けて三つある。一つは指からの静電気対策、次が、機械的強度の有無、最後に、長期信頼性(センサ表面からの不純物拡散による劣化対策)である。本指紋センサの評価結果により、高い静電気耐性、機械的強度及び長期信頼性があることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-02-09
著者
-
久良木 億
Ntt通信エネルギー研究所
-
重松 智志
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
町田 克之
NTTアドバンステクノロジ
-
森村 浩季
NTT生活環境研究所
-
重松 智志
NTT生活環境研究所
-
町田 克之
NTT通信エネルギー研究所
-
田辺 泰之
NTT通信エネルギー研究所
-
海野 秀之
NTT生活環境研究所
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