マルチバンドRF回路用集積化RF MEMS技術(マイクロ波超伝導/一般)
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概要
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マルチバンド対応の小型,低消費電力RF回路の実現に向け,多数個,複数種類のRF MEMSデバイスとCMOSデバイスを集積化する技術を提案する.また,バンドに応じて回路構成を切り替えるためのRF MEMSスイッチに関して,(1) CMOSデバイスとのプロセス親和性,(2)半導体実装技術を適用するための可動部保護,(3)CMOS制御回路から駆動するための低電圧動作,を特徴とする構造設計とプロセス構築を行い,スイッチを試作して高周波特性を測定した結果を示す.そして,RF MEMSスイッチを応用したスイッチトインダクタ回路と,CMOS制御回路と複数個のRF MEMSスイッチを集積化したRF CMOS-MEMSスイッチについて,試作結果を示し,提案技術の有効性を示す.
- 2010-04-16
著者
-
佐藤 昇男
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
佐藤 康博
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
桑原 啓
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
佐藤 康博
日本電信電話株式会社マイクロシステムインテグレーション研究所
-
高河原 和彦
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
桑原 啓
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
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